山東凈化工程高純水與高純氣用房裝修

高純水與高純氣用房是電子半導(dǎo)體、生物醫(yī)藥等搞端制造領(lǐng)域的關(guān)鍵配套設(shè)施，其設(shè)計(jì)裝修需以“防污染、保純度、強(qiáng)安全"為核心，嚴(yán)格遵循《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》，確保水質(zhì)電阻率≥18.2MΩ·cm（25℃），氣體純度達(dá)99.999/以上，同時(shí)滿足防爆、防泄漏等安全要求，為生產(chǎn)工藝提供穩(wěn)定可靠的介質(zhì)保障。

區(qū)域規(guī)劃需實(shí)現(xiàn)功能分區(qū)與污染隔離。用房應(yīng)劃分儲(chǔ)液區(qū)、制水設(shè)備區(qū)、配管區(qū)及用氣點(diǎn)緩沖區(qū)，高純水用房與高純氣用房保持≥5m間距，避免氣體泄漏污染水質(zhì)。地面采用防腐防滑環(huán)氧砂漿地坪，涂刷防靜電涂層，墻面選用304不銹鋼板，接縫采用激光焊接密封，吊頂采用防脫落潔凈彩鋼板，所有陰陽(yáng)角做圓弧處理，減少積塵與藏污空間。門窗采用防爆鋼化玻璃與不銹鋼密閉門，氣用房需增設(shè)泄壓窗，泄壓面積≥房間體積的0.05倍。

介質(zhì)系統(tǒng)設(shè)計(jì)是核心技術(shù)關(guān)鍵。高純水系統(tǒng)采用“預(yù)處理+反滲透+EDI"工藝，管路選用316L不銹鋼，采用雙卡套連接避免四體積，管道坡度≥2°確保排空車底，同時(shí)配備在線電阻率監(jiān)測(cè)儀與紫外線殺菌裝置。高純氣系統(tǒng)采用不銹鋼BAJ管道，實(shí)施氦質(zhì)譜檢漏確保泄漏率≤1×10??Pa·m3/s，設(shè)置都立的氣體匯流排與減壓裝置，配備緊急切斷閥與泄漏報(bào)警系統(tǒng)，氫氣等可燃?xì)怏w用房需安裝防爆排風(fēng)系統(tǒng)，換氣次數(shù)≥12次/h。

施工與驗(yàn)收需強(qiáng)化流程管控。管道安裝前需進(jìn)行脫脂、酸洗鈍化處理，施工環(huán)境潔凈度需達(dá)萬(wàn)級(jí)以上。電氣系統(tǒng)采用防爆型燈具與開(kāi)關(guān)，線纜穿管采用密封膠封堵。施工完成后需進(jìn)行管道壓力測(cè)試、水質(zhì)指標(biāo)檢測(cè)及氣體純度分析，高純水需通過(guò)TOC、顆粒度等專項(xiàng)檢測(cè)，高純氣需經(jīng)氣相色譜分析達(dá)標(biāo)。日常運(yùn)維中，需定期更換過(guò)濾耗材、校準(zhǔn)監(jiān)測(cè)儀器，建立介質(zhì)純度追溯檔案，確保系統(tǒng)長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。山東凈化工程高純水與高純氣用房裝修