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濰坊光學微電子凈化工程潔凈生產區施工要點
產品簡介:

濰坊光學微電子凈化工程潔凈生產區施工要點基層處理是施工基礎。地面需采用激光整平技術實現3米范圍內平整度誤差≤2mm,同時進行密封固化處理,阻斷粉塵析出。

產品型號:HZD

更新時間:2025-12-08

廠商性質:工程商

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濰坊光學微電子凈化工程潔凈生產區施工要點

光學微電子產業對生產環境的潔凈度、溫濕度及氣流控制要求嚴,潔凈生產區作為核心區域,其施工質量直接決定產品良率與設備運行穩定性。施工需秉持“精準控制、全程潔凈、系統協同"原則,統籌各環節技術要點。

基層處理是施工基礎。地面需采用激光整平技術實現3米范圍內平整度誤差≤2mm,同時進行密封固化處理,阻斷粉塵析出。墻面基層優先選用防菌防潮石膏板,接縫處采用圓弧過渡設計,避免積塵,所有基層施工前須經過除塵、除油處理,確保后續涂層附著力。

空氣凈化系統安裝是核心環節。風管制作采用鍍鋅鋼板,接口處使用密封膠條雙重密封,安裝前需進行壓力測試,確保漏風率≤0.5/。高效空氣過濾器(HEPA)需在潔凈環境下拆封安裝,采用液槽密封方式,安裝后通過塵埃粒子計數器檢測,確保潔凈度達到ISO 5級標準。氣流組織采用垂直層流設計,風速控制在0.3-0.5m/s,避免氣流紊亂導致的交叉污染。

機電系統與凈化工程協同施工至關重要。管線布局需避開氣流主導區域,電氣管線采用鍍鋅鋼管暗敷,燈具選用防塵防水的潔凈型LED燈,與吊頂平齊安裝。給排水管道采用不銹鋼材質,接口采用焊接工藝,避免跑冒滴漏,所有管道安裝后需進行鈍化處理。

施工過程中的潔凈管控不忽視。施工人員需經過風淋室進入作業區,穿戴無菌工作服、手套及防塵鞋套,施工工具需經酒精擦拭消毒。每日施工結束后采用真空吸塵器和無塵抹布進行清潔,每周進行一次的潔凈度檢測。

竣工驗收階段需進行綜合性能測試,包括潔凈度、溫濕度波動范圍、靜壓差等指標,確保所有參數符合設計要求,為光學微電子產品生產提供穩定可靠的潔凈環境。濰坊光學微電子凈化工程潔凈生產區施工要點


 


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